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Industrielles Excimer-Laserbearbeitungssystem | Flexible Produktionslinienintegration und vollständig anpassbare Parameter
Industrielles Exzimerlaserverarbeitungssystem
,Flexible Exzimerlaserproduktionslinie
,Anpassbare UV-Beschichtungsmaschinenparameter
Dieses industrielle Excimer-Laser-Bearbeitungssystem ist für die hochpräzise Mikrofertigung, Halbleiter-Glühung und Dünnschichtstrukturierung konzipiert. Es unterstützt die vollständige Integration in automatisierte Produktionslinien mit Echtzeitüberwachung. Das System verfügt über eine gasdichte Excimerquelle mit langlebiger Optik und KI-gestützter Prozesssteuerung.
- Excimer-Laserquelleneinheit
- Strahlformungs- und Homogenisierungsmodul
- Hochgeschwindigkeits-XY-Scantisch oder Maskenprojektionseinheit
- Inline-Substrathandhabungsroboter (anpassbare Spurbreite)
- Abgas- und Gasmanagementsystem
- Prozessleit-PC mit Rezepturverwaltung
| Parameter | Wertebereich (Standard) | Anpassungsoption |
|---|---|---|
| Wellenlänge | 193 nm / 248 nm / 308 nm | Mehrere Wellenlängen umschaltbar (benutzerdefiniert) |
| Maximale Pulsenergie | 0,5 - 1200 mJ | Bis zu 2000 mJ (benutzerdefiniert) |
| Pulsfrequenz | 1 - 6000 Hz | Bis zu 10 kHz (benutzerdefiniert) |
| Durchschnittliche Leistung | 5 - 300 W | Benutzerdefinierte Skalierung verfügbar |
| Strahlgröße (Ausgang) | 10 × 10 mm | Rechteckbalken bis 50×50 mm (kundenspezifisch) |
| Strahlhomogenität | < ±3 % (σ) | < ±1 % (kundenspezifische Optik) |
| Integration in die Produktionslinie | SMEMA / SECS/GEM | Benutzerdefiniertes SPS-Protokoll (benutzerdefiniert) |
- Silizium-Annealing für fortschrittliche Displays (LTPS)
- Zerteilen von MEMS- und Halbleiterwafern
- Aktivierung der Polymeroberfläche
- Mikrostrukturierung medizinischer Geräte
- Flexibles Leiterplattenbohren
Wir bietenvollständige AnpassungAuswahl der Wellenlänge, Pulsenergie, Scanfeldgröße, Gasmischung, Kühlmethode (Luft/Wasser/Kühler) und Kommunikationsprotokoll der Produktionslinie. Auf Anfrage sind auch kundenspezifische Strahlführungsarme und Gehäuse der Klasse 1 erhältlich.
- > 2000 Stunden Gaslebensdauer (optimierte Gasmischung)
- Integrierte Energiestabilisierung (Echtzeit-Feedback)
- Ferndiagnose und vorausschauende Wartung
- Niedrige Betriebskosten (LOO) mit Bypass-Gassparmodus
- Kompaktes modulares Design für eine schnelle Neukonfiguration der Linie
- Technischer Support rund um die Uhr (Telefon/Remote)
- Installation und Integration in die Produktionslinie vor Ort
- Maßgeschneiderte Schulungen für Ihre Ingenieure
- Erweiterte Garantie auf bis zu 5 Jahre
- Programm zur Nachfüllung von Gas und zur Aufarbeitung von Optiken
- Versiegelt in einem feuchtigkeitskontrollierten, stoßgedämpften Behälter
- Vakuumversiegelte Optikbox
- Versand per Luft- oder Seeweg mit Echtzeitverfolgung
- Exportkisten erfüllen den ISPM-15-Standard
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