24-Position Spin Coating System mit Smart Material Recovery, kundenspezifischem Chuck und Düse für minimale Verluste

Dieser materialsparende 24-Stationen-Spin-Coater wurde entwickelt, um Photoresist-, Polyimid- oder Vorläuferlösungsabfälle in hochleistungsfähigen Beschichtungslinien zu minimieren.Im Gegensatz zu herkömmlichen Spin-Coatern, die überschüssige Flüssigkeit entsorgen, unser System integriert anpassbares Edge Bead Removal (EBR) Recycling, niedrige Toten-Volumen-Verteilerleitungen und Pre-Wet Optimierungslogik, um den Materialverbrauch um 25-40% zu reduzieren.

Jede der 24 Stationen arbeitet mit einer unabhängigen Überwachung der Lösungsnutzung in geschlossenem Kreislauf.Anschließend wird automatisch der Ausgabebetrag pro Substrat angepasstIn Kombination mit anpassbaren Lösungsmittelrückgewinnungsschalen sammelt das System mehr als 85% der nicht gesponnenen Chemikalien zur erneuten Filtration oder Entsorgung, wodurch die Betriebskosten erheblich gesenkt werden.

Alle 24 Stationen werden von einem zentralen PLC + HMI gesteuert, und das Gerät unterstützt die Anpassung von Rezepten pro Station - so dass verschiedene Materialien, Spinkurven,und Einsparstrategien an benachbarten Stationen gleichzeitig.

Bei der Integration in eine materialwirtschaftlich effiziente Beschichtungslinie wird der 24-Stations-Spin-Coater mit

1. System zur Abgabe von Chemikalien mit niedrigem Abfallvolumen- 1 bis 12 Flaschen mit jeweils < 0,5 ml Rückstand
2. Vornässige Station- Verwendung von recyceltem Lösungsmittel für vornässige Substrate (einsparung von frischem Material)
3. 24-Stationen-Spin-Coater- Haupteinheit mit Material sparsamen Schüsseln
4. Grenzperlenentferner (EBR) mit Lösungsmittelrückgewinnung-angepasste Schnittbreite und Geschwindigkeit
5. Nachbeschichtung und Kühlung- fakultativ
6. Einheit für das chemische Recycling- Filtration + Nachmischung für nicht kritische Schichten
7. Abgas mit Lösungsmittelkondensationsfalle- das verdampfte Lösungsmittel (> 70%) zurückgewinnt

• Halbleiterfotoresistente Beschichtung- kostensensible Fabriken (Speicher, Logik, Leistungseinrichtungen)
• Sonnenzellen aus Perovskit- teure Vorläuferlösungen (Pb, organische Halogenide)
• OLED-/QLED-Lochspritze- teure PEDOT:PSS- oder Polymerfarben
• Pilotlinien für FuE- wenn die Materialmenge begrenzt ist
• MEMS und Mikrofluidik- SU-8, BCB und andere teure Polymere
• Lithiumbatteriebeschichtung- Einsparungen bei Schlamm auf dem Separator oder der Elektrode
• Alle Produktionslinien, bei denen die chemischen Beschichtungskosten > 100 EUR/L betragen

Diese 24-Stationen-Spin-Coater ist sehr anpassbar, um die beste Rohstoffwirtschaft zu erzielen:

• Typ der Abgabedüse- Nadel, Schnitt oder Spray -angepasst, um der Viskosität der Lösung zu entsprechen
• Verteilung der Volumenlogik- festes, dynamisches oder KI-gestütztes Lernen mit minimalem Volumen
• Muster zur Entfernung von Randperlen (EBR)- Position, Breite, Geschwindigkeit undLösungsmittelrecycling eingeschaltet/ausgeschaltet
• Entwurf der Schüsselableitung- glatte oder geribte Bohrung - beeinflusst die Wiedergewinnungsrate
• System zur Rückgewinnung von Lösungsmitteln- integrierte Destillation oder einfache Sammeltrommel
• Material für chemische Leitungen- PP, PTFE oder Edelstahl (verhindert Adsorptionsverluste)
• Rückseite ausspülen- optional, mit spezieller Niedrigströmungsdüse
• Vornassprogramm- Lösungsmittelart, Volumen, Drehgeschwindigkeit -vollständig anpassbar pro Station
• Berichterstattung- Materialverbrauch pro Schicht/Woche - anpassbares Armaturenbrett

• Intelligente Mindestvolumenerkennung- die Abgabe automatisch um 5% reduziert, bis die Einheitlichkeit nicht erreicht ist
• Abfallverfolgung in geschlossenem Kreislauf- Echtzeitanzeige des gesparten Materials pro 1000 Substrate
• Flüssigkeitsspülkörper mit niedrigem Totvolumen- < 0,3 ml Gesamtrückstand (Standard-Konkurrenten: 2-5 ml)
• EBR-Lösungsmittelrecyclingschleife- verbrauchtes, gefiltertes und wiederverwendetes Spülmittel für die Vornässerung
• Kalibrierung der einzelnen Stationen- jedes Düsenvolumen kann separat geschnitten werden
• Warnungen wegen Überlieferung- Stoppt, wenn der Chemikalienverbrauch die Rezepturschwelle um > 15% übersteigt
• Optimierung der Vakuumschüssel- reduziert die Randgrenzfläche und spart Material an großen Substraten
• Trinkwasser- und Trinkwasser-Füllung- verhindert einen einmaligen Verlust während des Index

• Kostenlose Prüfung der Materialersparnis- wir analysieren Ihre derzeitigen Abfälle und schätzen das Einsparpotenzial
• 24/7 Fernunterstützung- für die Abstimmung der Abgabe und für die Speicherlogik
• Kalibrierung vor Ort- optional (2 Tage), einschließlich Düsenvolumen und EBR-Muster
• Garantie von 12 Monaten- auf 24 Monate verlängert, wenn Sie uns Ihre monatlichen Spardaten mitteilen
• Ersatzteile- Schnellversandprogramm für Düsen, Ventile und Schläuche
• Software-Aktualisierung- neue Sparalgorithmen, die für 2 Jahre kostenlos zur Verfügung gestellt werden