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Vollautomatischer 24-Stationen-Spin-Coater mit anpassbarer Abgabe- und Spin-Geschwindigkeit für hohe Gleichmäßigkeit und Null-Kreuzkontamination
Produktdetails:
| Herkunftsort: | China |
| Markenname: | OSMANUV |
| Zertifizierung: | ISO9001 |
| Modellnummer: | Spezifikation |
Zahlung und Versand AGB:
| Min Bestellmenge: | 1 Satz |
|---|---|
| Preis: | Verhandelbar |
| Verpackung Informationen: | Holzverpackung |
| Lieferzeit: | 30 Tage |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | Verhandlung |
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Detailinformationen |
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| Haltbarkeit der Beschichtung: | Hohe Haltbarkeit | Lichtquelle: | IR -Licht |
|---|---|---|---|
| Verwendung: | Papierdrucker, Etikettendrucker, Kartendrucker | Beschichtungsdicke: | einstellbar |
| Modell: | Die Ausrüstung ist in der Lage, die erforderlichen Daten zu erfassen. | Produktive Kapazität: | 4800pcs/8h |
| wichtige Verkaufsargumente: | Zellstoffgeformte Beschichtung | Arbeitskraft: | 2,4 kW |
| Hervorheben: | Vollautomatischer Spin-Coater,24-Stationen-Zellstoffform-Coater,anpassbarer Dosier-Spin-Coater |
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Produkt-Beschreibung
VOLLAUTOMATISCHER 24-SPIN-PROZESSOR FÜR F&E BIS ZUR PRODUKTION | Anpassbare Ausgabe- und Schleudergeschwindigkeit
Das24-Stationen-Spin-Coaterist für die automatisierte Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz konzipiert. Jede der 24 unabhängigen Beschichtungspositionen kann mit Substraten bis zu einem Durchmesser von 200 mm (oder 156 x 156 mm im Quadrat) beladen werden. Das System führt nacheinander die Schritte „Spenden“, „Beschleunigen“, „Spin-Hold“ und „Kantenwulstentfernung“ über a durchanpassbare Rezeptdatenbank.
Hauptvorteile
- Keine Kreuzkontamination- Individuelle Schüsseln und Auspuff für jede Station
- Hohe Gleichmäßigkeit< ±3 % bei 3000 U/min über alle Stationen
- Vollständige Anpassung- Substratmaterial (Si, Glas, Polymer, Metall), Gasspülung (N₂, saubere trockene Luft) und Spülschritte nach dem Schleudern
Technische Parameter
| Parameter | Standardwert | Anpassbares Sortiment |
|---|---|---|
| Anzahl der Stationen | 24 | 12 / 16 / 24 / 32 (anpassbar) |
| Maximale Substratgröße | 200 mm Durchmesser oder 156×156 mm im Quadrat | 50 - 300 mm (anpassbares Spannfutter) |
| Schleuderdrehzahlbereich | 0 - 6000 U/min | 0 - 10000 U/min |
| Geschwindigkeitsgenauigkeit | ±1 U/min | -- |
| Spinbeschleunigung | 200 - 10000 U/min/s | anpassbar bis zu 20000 U/min/s |
| Gleichmäßigkeit der Beschichtung | < ±3 % bei 3000 U/min | ±2 % verfügbar |
| Prozessgase | 1 Kanal (N₂) | 2 - 4 Gaskanäle (anpassbar) |
| Abgabearten | Statisch / dynamisch | Bis zu 3 Dosierschritte pro Rezept |
| Abgasstrom pro Station | 45 m³/h | 30 - 80 m³/h (anpassbar) |
| Umfeld | Kompatibel mit Reinräumen der Klasse 10 | Option der Klasse 1 |
| Stromversorgung | 400 V / 50 Hz / 3P | 208V - 480V (anpassbar) |
| Maschinenabmessungen (B×T×H) | 2100 × 1200 × 1900 mm | Breite/Tiefeanpassbar |
Integration der Produktionslinie
Bei Integration in eine Beschichtungslinie arbeitet der 24-Stationen-Spin-Coater typischerweise mit:
- Lader / Entlader(Magazin-zu-Magazin oder Kassette-zu-Kassette) -anpassbare Schnittstelle
- Vorausrichtungsstation- optionale Kanten-/Kerbenausrichtung
- 24-Stationen-Spin-Coater- Haupteinheit
- Kantenentferner (EBR)- integrierte oder separate Station
- Backplatte zum Nachbeschichten- Kochplatte oder IR (programmierbar)
- Kühlstation- aktiv oder passiv
- Zentrales Chemikalienabgabesystem- 1–12 Flaschen mit automatischer Nachfüllung
- Abgas- und Lösungsmittelrückgewinnungssystem- anpassbar für Fotolack, PI, PMMA usw.
Anwendungen
- Halbleiter- Fotolackbeschichtung (i-line, KrF, ArF)
- Perowskit-Solarzellen- großflächige gleichmäßige Abscheidung
- OLED / QLED- Lochinjektions-/Transportschichten
- MEMS und Mikrofluidik- SU-8, PDMS, Polymerbeschichtungen
- Forschung und Entwicklung sowie Pilotlinie- Entwicklung von Multisubstratprozessen
- Glas-/Saphir-/Keramiksubstrate- Oberflächenplanarisierung
- Lithiumbatterie- Schlammbeschichtung auf Separator oder Elektrode
Anpassungsoptionen
DasDer 24-Stationen-Spin-Coater ist hochgradig anpassbarin folgenden Aspekten:
- Größe und Form des Substrats- runde, quadratische, rechteckige oder individuelle Ausschnitte
- Chuck-Design- Vakuum, mechanische Klemme oder elektrostatische Spannvorrichtung
- Schüsselmaterial- PP, PVDF, PTFE oder Edelstahl (für aggressive Lösungsmittel)
- Dosierdüsen- bis zu 3 unabhängige Düsen pro Station,anpassbare XY-Bewegung
- Prozessgase- N₂, saubere trockene Luft, Ar oder Formiergas
- Rückseite abspülen und Randwülste entfernen- programmierbar
- Rezeptbibliothek- Unbegrenzter Speicherplatz für über 1000 benutzerdefinierte Rezepte
- Schnittstelle- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA oder Modbus TCP
- Sicherheit- explosionsgeschützte Ausführung für brennbare Lösungsmittel
Hauptmerkmale
- Unabhängige Stationsüberwachung- Jede Station verfolgt den Filmdickentrend und den Alarmverlauf
- Aktive Deckelverriegelung- verhindert den Betrieb bei geöffnetem Schüsseldeckel
- Tropfenfänger für Lösungsmittel- reduziert die Wartungshäufigkeit
- Schneller Rezept-Download- < 1 Sek., um alle 24 Sender zu ändern
- Datenprotokollierung- CSV-Export pro Station (Schleudergeschwindigkeit vs. Zeit)
- Vibrationsarmes Design- < 0,5 µm/s² bei maximaler Geschwindigkeit
- Energiesparmodus- Abgasgeschwindigkeit im Leerlauf automatisch reduziert
Support und Dienstleistungen
- Anleitung zur Remote-Installation- Einrichtung eines Videoanrufs inklusive
- Technischer Support rund um die Uhr- Ingenieurteam auf Abruf (Englisch/Chinesisch)
- Schulung vor Ort- optional (3 Tage)
- 12 Monate Garantie- verlängerbar auf 36 Monate
- Ersatzteilverfügbarkeit- 5 Jahre Garantie
- Unterstützung bei der Prozessentwicklung- kostenlose Rezeptoptimierung für Ihr Material
Verpackung und Versand
| Artikel | Verfahren |
|---|---|
| Verpackung | Vakuumversiegelt + antistatischer Schaum + Sperrholzkiste (VCI-Korrosionsschutz) |
| Versandbedingungen | FOB / CIF / DDP (im Angebot auswählen) |
| Vorlaufzeit | 45 - 60 Werktage (individuell: +15 Tage) |
| Transport | 40' HC-Container (1 Einheit pro Container) oder Luftfracht für dringende Bestellungen |
| Unterlagen | Handelsrechnung, Packliste, CE-Erklärung, Bedienungsanleitung (digital + gedruckt) |
Häufig gestellte Fragen
F1: Können verschiedene Substrate gleichzeitig auf verschiedenen Stationen beschichtet werden?
A: Ja, jede Station läuft unabhängig. Station 1–6 kann beispielsweise 4-Zoll-Wafer beschichten, während Station 7–12 6-Zoll-Wafer beschichten kann –vollständig anpassbar.
F2: Unterstützt die Maschine hochviskose Materialien (>1000 cP)?
A: Ja. Wir bietenanpassbarLangsam dosierende und drehmomentstarke Drehmotoren (bis zu 1,5 N*m) für dickes Fotoresist oder Polyimid.
F3: Wie lange dauert der Wechsel von einem Fotolack zum anderen?
A: Mit dem optionalenAnpassbares, schnell zu reinigendes Schüsseldesign, Umstellung < 10 Minuten pro Station. Zentrale Chemieleitungen können automatisch gespült werden.
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