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Vollautomatischer 24-Stationen-Spin-Coater mit anpassbarer Abgabe- und Spin-Geschwindigkeit für hohe Gleichmäßigkeit und Null-Kreuzkontamination

Bescheinigung
CHINA Dongguan Osmanuv Machinery Equipment Co., Ltd zertifizierungen
CHINA Dongguan Osmanuv Machinery Equipment Co., Ltd zertifizierungen
Kunden-Berichte
Bester Service, bestes Produkt, beste Qualität. Geben Sie Ihnen etwas Lob!

—— Daniel

Der Ernst der Haltung, die Finesse der Kunstfertigkeit ist zu Ihnen sehr zufriedenstellend!

—— Guy de Maupassant

Der beste Verkäufer verkauft nicht das Produkt, er sich verkauft。

—— Diego Rodrigueez de Silva y VE

Guter Verkäufer. Patient. Ich erhielt schließlich, was ich wünschte

—— Edward Adam Davis

Die Lieferungsgeschwindigkeit und der Kundendienst bin ich mit ihr sehr erfreut!

—— George Smith

Ich bin online Chat Jetzt

Vollautomatischer 24-Stationen-Spin-Coater mit anpassbarer Abgabe- und Spin-Geschwindigkeit für hohe Gleichmäßigkeit und Null-Kreuzkontamination

Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination
Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination Fully Automatic 24-Station Spin Coater with Customizable Dispense & Spin Speed for High Uniformity and Zero Cross-Contamination

Großes Bild :  Vollautomatischer 24-Stationen-Spin-Coater mit anpassbarer Abgabe- und Spin-Geschwindigkeit für hohe Gleichmäßigkeit und Null-Kreuzkontamination

Produktdetails:
Herkunftsort: China
Markenname: OSMANUV
Zertifizierung: ISO9001
Modellnummer: Spezifikation
Zahlung und Versand AGB:
Min Bestellmenge: 1 Satz
Preis: Verhandelbar
Verpackung Informationen: Holzverpackung
Lieferzeit: 30 Tage
Versorgungsmaterial-Fähigkeit: Verhandlung

Vollautomatischer 24-Stationen-Spin-Coater mit anpassbarer Abgabe- und Spin-Geschwindigkeit für hohe Gleichmäßigkeit und Null-Kreuzkontamination

Beschreibung
Haltbarkeit der Beschichtung: Hohe Haltbarkeit Lichtquelle: IR -Licht
Verwendung: Papierdrucker, Etikettendrucker, Kartendrucker Beschichtungsdicke: einstellbar
Modell: Die Ausrüstung ist in der Lage, die erforderlichen Daten zu erfassen. Produktive Kapazität: 4800pcs/8h
wichtige Verkaufsargumente: Zellstoffgeformte Beschichtung Arbeitskraft: 2,4 kW
Hervorheben:

Vollautomatischer Spin-Coater

,

24-Stationen-Zellstoffform-Coater

,

anpassbarer Dosier-Spin-Coater

VOLLAUTOMATISCHER 24-SPIN-PROZESSOR FÜR F&E BIS ZUR PRODUKTION | Anpassbare Ausgabe- und Schleudergeschwindigkeit
Das24-Stationen-Spin-Coaterist für die automatisierte Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz konzipiert. Jede der 24 unabhängigen Beschichtungspositionen kann mit Substraten bis zu einem Durchmesser von 200 mm (oder 156 x 156 mm im Quadrat) beladen werden. Das System führt nacheinander die Schritte „Spenden“, „Beschleunigen“, „Spin-Hold“ und „Kantenwulstentfernung“ über a durchanpassbare Rezeptdatenbank.
Hauptvorteile
  • Keine Kreuzkontamination- Individuelle Schüsseln und Auspuff für jede Station
  • Hohe Gleichmäßigkeit< ±3 % bei 3000 U/min über alle Stationen
  • Vollständige Anpassung- Substratmaterial (Si, Glas, Polymer, Metall), Gasspülung (N₂, saubere trockene Luft) und Spülschritte nach dem Schleudern
Technische Parameter
ParameterStandardwertAnpassbares Sortiment
Anzahl der Stationen2412 / 16 / 24 / 32 (anpassbar)
Maximale Substratgröße200 mm Durchmesser oder 156×156 mm im Quadrat50 - 300 mm (anpassbares Spannfutter)
Schleuderdrehzahlbereich0 - 6000 U/min0 - 10000 U/min
Geschwindigkeitsgenauigkeit±1 U/min--
Spinbeschleunigung200 - 10000 U/min/sanpassbar bis zu 20000 U/min/s
Gleichmäßigkeit der Beschichtung< ±3 % bei 3000 U/min±2 % verfügbar
Prozessgase1 Kanal (N₂)2 - 4 Gaskanäle (anpassbar)
AbgabeartenStatisch / dynamischBis zu 3 Dosierschritte pro Rezept
Abgasstrom pro Station45 m³/h30 - 80 m³/h (anpassbar)
UmfeldKompatibel mit Reinräumen der Klasse 10Option der Klasse 1
Stromversorgung400 V / 50 Hz / 3P208V - 480V (anpassbar)
Maschinenabmessungen (B×T×H)2100 × 1200 × 1900 mmBreite/Tiefeanpassbar
Integration der Produktionslinie
Bei Integration in eine Beschichtungslinie arbeitet der 24-Stationen-Spin-Coater typischerweise mit:
  1. Lader / Entlader(Magazin-zu-Magazin oder Kassette-zu-Kassette) -anpassbare Schnittstelle
  2. Vorausrichtungsstation- optionale Kanten-/Kerbenausrichtung
  3. 24-Stationen-Spin-Coater- Haupteinheit
  4. Kantenentferner (EBR)- integrierte oder separate Station
  5. Backplatte zum Nachbeschichten- Kochplatte oder IR (programmierbar)
  6. Kühlstation- aktiv oder passiv
  7. Zentrales Chemikalienabgabesystem- 1–12 Flaschen mit automatischer Nachfüllung
  8. Abgas- und Lösungsmittelrückgewinnungssystem- anpassbar für Fotolack, PI, PMMA usw.
Anwendungen
  • Halbleiter- Fotolackbeschichtung (i-line, KrF, ArF)
  • Perowskit-Solarzellen- großflächige gleichmäßige Abscheidung
  • OLED / QLED- Lochinjektions-/Transportschichten
  • MEMS und Mikrofluidik- SU-8, PDMS, Polymerbeschichtungen
  • Forschung und Entwicklung sowie Pilotlinie- Entwicklung von Multisubstratprozessen
  • Glas-/Saphir-/Keramiksubstrate- Oberflächenplanarisierung
  • Lithiumbatterie- Schlammbeschichtung auf Separator oder Elektrode
Anpassungsoptionen
DasDer 24-Stationen-Spin-Coater ist hochgradig anpassbarin folgenden Aspekten:
  • Größe und Form des Substrats- runde, quadratische, rechteckige oder individuelle Ausschnitte
  • Chuck-Design- Vakuum, mechanische Klemme oder elektrostatische Spannvorrichtung
  • Schüsselmaterial- PP, PVDF, PTFE oder Edelstahl (für aggressive Lösungsmittel)
  • Dosierdüsen- bis zu 3 unabhängige Düsen pro Station,anpassbare XY-Bewegung
  • Prozessgase- N₂, saubere trockene Luft, Ar oder Formiergas
  • Rückseite abspülen und Randwülste entfernen- programmierbar
  • Rezeptbibliothek- Unbegrenzter Speicherplatz für über 1000 benutzerdefinierte Rezepte
  • Schnittstelle- SMEMA, SECS/GEM, OPC-UA oder Modbus TCP
  • Sicherheit- explosionsgeschützte Ausführung für brennbare Lösungsmittel
Hauptmerkmale
  • Unabhängige Stationsüberwachung- Jede Station verfolgt den Filmdickentrend und den Alarmverlauf
  • Aktive Deckelverriegelung- verhindert den Betrieb bei geöffnetem Schüsseldeckel
  • Tropfenfänger für Lösungsmittel- reduziert die Wartungshäufigkeit
  • Schneller Rezept-Download- < 1 Sek., um alle 24 Sender zu ändern
  • Datenprotokollierung- CSV-Export pro Station (Schleudergeschwindigkeit vs. Zeit)
  • Vibrationsarmes Design- < 0,5 µm/s² bei maximaler Geschwindigkeit
  • Energiesparmodus- Abgasgeschwindigkeit im Leerlauf automatisch reduziert
Support und Dienstleistungen
  • Anleitung zur Remote-Installation- Einrichtung eines Videoanrufs inklusive
  • Technischer Support rund um die Uhr- Ingenieurteam auf Abruf (Englisch/Chinesisch)
  • Schulung vor Ort- optional (3 Tage)
  • 12 Monate Garantie- verlängerbar auf 36 Monate
  • Ersatzteilverfügbarkeit- 5 Jahre Garantie
  • Unterstützung bei der Prozessentwicklung- kostenlose Rezeptoptimierung für Ihr Material
Verpackung und Versand
ArtikelVerfahren
VerpackungVakuumversiegelt + antistatischer Schaum + Sperrholzkiste (VCI-Korrosionsschutz)
VersandbedingungenFOB / CIF / DDP (im Angebot auswählen)
Vorlaufzeit45 - 60 Werktage (individuell: +15 Tage)
Transport40' HC-Container (1 Einheit pro Container) oder Luftfracht für dringende Bestellungen
UnterlagenHandelsrechnung, Packliste, CE-Erklärung, Bedienungsanleitung (digital + gedruckt)
Häufig gestellte Fragen
F1: Können verschiedene Substrate gleichzeitig auf verschiedenen Stationen beschichtet werden?
A: Ja, jede Station läuft unabhängig. Station 1–6 kann beispielsweise 4-Zoll-Wafer beschichten, während Station 7–12 6-Zoll-Wafer beschichten kann –vollständig anpassbar.
F2: Unterstützt die Maschine hochviskose Materialien (>1000 cP)?
A: Ja. Wir bietenanpassbarLangsam dosierende und drehmomentstarke Drehmotoren (bis zu 1,5 N*m) für dickes Fotoresist oder Polyimid.
F3: Wie lange dauert der Wechsel von einem Fotolack zum anderen?
A: Mit dem optionalenAnpassbares, schnell zu reinigendes Schüsseldesign, Umstellung < 10 Minuten pro Station. Zentrale Chemieleitungen können automatisch gespült werden.

Kontaktdaten
Dongguan Osmanuv Machinery Equipment Co., Ltd

Ansprechpartner: Mr. Zhang guoxin

Telefon: +86 13926890692

Faxen: 86-769-88120350

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