24-Positionen-Rotations-Spin-Coater mit anpassbaren Substratgrößen und programmierbaren Spin-Profilen für die Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz
Rotierender Schleuderbeschichter mit 24 Positionen
,programmierbarer Schleuderbeschichter für die Dünnschichtabscheidung
,anpassbarer Schleuderbeschichter für die Substratgröße
Dieser Schleuderbeschichter mit 24 Stationen ist für die Dünnschichtabscheidung von Fotolack, Polymeren, Nanopartikeln und Sol-Gel-Materialien mit hohem Durchsatz konzipiert. Jede Station arbeitet unabhängig oder synchron. Das System unterstützt anpassbare Schleuderprofile (Beschleunigung, Dauer, Geschwindigkeit) für jede Station und ist somit ideal für Forschungs- und Entwicklungs- sowie Produktionsumgebungen.
| Parameter | Wert/Bereich | Anpassungsoption |
|---|---|---|
| Anzahl der Stationen | 24 | ✔ Anpassbar (16/24/32 Stationen) |
| Substratgröße | Bis zu 12" Wafer oder 300×300 mm Panel | ✔ Anpassbare Spannfuttergröße |
| Schleuderdrehzahlbereich | 100 - 12.000 U/min | ✔ Pro Station programmierbar |
| Geschwindigkeitsgenauigkeit | ±1 U/min | - |
| Beschleunigungsbereich | 100 - 10.000 U/min/s | ✔ Je nach Rezept anpassbar |
| Schleuderzeitbereich | 1 - 999 Sek./Schritt | ✔ Anpassbare Schritte |
| Dosiervolumen | 0,1 - 20 ml pro Düse | ✔ Anpassbarer Düsentyp |
| Motortyp | Bürstenloser Gleichstromservo | - |
| Gleichmäßigkeit der Beschichtung | ±3 % (über 24 Stationen) | ✔ Aufrüstbar auf ±1 % |
| Abgasstrom | 150 - 500 m³/h | ✔ Anpassbare Auspuffschnittstelle |
| Stromversorgung | 220V / 50-60 Hz / 3,5 kW | ✔ Anpassbare Spannung |
| Abmessungen (L×B×H) | 1800×1200×900 mm | ✔ Anpassbare Stellfläche |
| Gewicht | 520 kg | - |
- Halbleiter-Wafer-Beschichtung (Photoresist)
- Herstellung von OLED- und Perowskit-Solarzellen
- Vorbereitung von Biochips und Polymerfilmen
- Antireflexbeschichtung für Optiken
- Nanomaterialabscheidung (Graphen, Quantenpunkte)
- F&E-Multi-Condition-Screening (24 verschiedene Parameter gleichzeitig)
Wir bieten vollständige Individualisierung:
- Anzahl der Stationen:8 / 12 / 16 / 24 / 32 Stationen
- Form und Größe des Substrats:runde Wafer, quadratische Platten, unregelmäßige Substrate
- Abgabesystem:Einzelnadel, Mehrfachdüse, Spray oder Tintenstrahl
- Umgebungskontrolle:Luftfeuchtigkeit, Temperatur, Partikelfiltration
- Automatisierungsgrad:manuelle Beladung, halbautomatisch, vollständige Inline-Integration
- Software:individuelle Rezeptstruktur, Barcode-Scanning, Datenexport ins MES
- Installation und Schulung vor Ort
- 18 Monate Standardgarantie (verlängerbar)
- Option für Remote-Debugging und IoT-Support
- Jährlicher Kalibrierungs- und vorbeugender Wartungsplan
- Ersatzteilversorgung für ≥10 Jahre
- Unterstützung bei der Entwicklung kundenspezifischer Software
- Verpackung:Antistatisch vakuumversiegelt + Exportkoffer aus Sperrholz (stoßfest, feuchtigkeitsbeständig)
- Versandart:FOB/CIF auf dem See- und Luftweg (Express optional für Tischgeräte)
- Lieferzeit:30–45 Werktage nach Auftragsbestätigung (Anpassung fügt 15 Tage hinzu)
- Enthaltene Dokumente:Benutzerhandbuch, Kalibrierzertifikat, CE-Erklärung