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24-Positionen-Rotations-Spin-Coater mit anpassbaren Substratgrößen und programmierbaren Spin-Profilen für die Dünnschichtabscheidung mit hohem Durchsatz
Produktdetails:
| Herkunftsort: | China |
| Markenname: | OSMANUV |
| Zertifizierung: | ISO9001 |
| Modellnummer: | Spezifikation |
Zahlung und Versand AGB:
| Min Bestellmenge: | 1 Satz |
|---|---|
| Preis: | Verhandelbar |
| Verpackung Informationen: | Holzverpackung |
| Lieferzeit: | 30-45 Tage |
| Zahlungsbedingungen: | T/T |
| Versorgungsmaterial-Fähigkeit: | Verhandlung |
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Detailinformationen |
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| Material: | Fruchtfleisch | Beschichtungsmittel: | DOD-Tintenstrahlköpfe |
|---|---|---|---|
| Heizquelle: | Elektrische IR -Heizung | Beschichtungsfläche: | Großes Gebiet |
| Heizmethode: | elektrisch | Kontrolle der Schichtdicke: | Einstellbar |
| Dimension: | Als Kundenanforderung | Modell: | Die Ausrüstung ist in der Lage, die erforderlichen Daten zu erfassen. |
| Integration in die Produktionslinie: | Kann in die Produktionslinie für die Zellstoffformung integriert werden | ||
Produkt-Beschreibung
Kompakter 24-Positionen-Rotations-Spin-Coater | Anpassbare Substratgrößen und Spin-Programme für Forschung und Entwicklung sowie Pilotproduktion
Produktübersicht
Das24-Stationen-Spin-Coaterist für die Hochdurchsatz-Dünnschichtabscheidung von Fotolack, Polymeren, Nanopartikeln und Sol-Gel-Materialien konzipiert. Jede Station arbeitet unabhängig oder synchron. Das System unterstütztanpassbare Spin-Profile(Beschleunigung, Dauer, Geschwindigkeit) für jede Station, was es ideal für Forschungs- und Entwicklungs- sowie Produktionsumgebungen macht.
Technische Spezifikationen
| Parameter | Wert/Bereich | Anpassungsoption |
|---|---|---|
| Anzahl der Stationen | 24 | ✔Anpassbar (16/24/32 Stationen) |
| Substratgröße | Bis zu 12" Wafer oder 300×300 mm Panel | ✔Anpassbare Spannfuttergröße |
| Schleuderdrehzahlbereich | 100 - 12.000 U/min | ✔Pro Station programmierbar |
| Geschwindigkeitsgenauigkeit | ±1 U/min | - |
| Beschleunigungsbereich | 100 - 10.000 U/min/s | ✔Einstellbar je nach Rezept |
| Schleuderzeitbereich | 1 - 999 Sek./Schritt | ✔Anpassbare Schritte |
| Dosiervolumen | 0,1 - 20 ml pro Düse | ✔Anpassbarer Düsentyp |
| Motortyp | Bürstenloser Gleichstromservo | - |
| Gleichmäßigkeit der Beschichtung | ±3 % (über 24 Stationen) | ✔Aufrüstbar auf ±1 % |
| Abgasstrom | 150 - 500 m³/h | ✔Anpassbare Auspuffschnittstelle |
| Stromversorgung | 220V / 50-60 Hz / 3,5 kW | ✔Anpassbare Spannung |
| Abmessungen (L×B×H) | 1800×1200×900 mm | ✔Anpassbare Grundfläche |
| Gewicht | 520 kg | - |
Anwendungen
- Halbleiter-Wafer-Beschichtung (Photoresist)
- Herstellung von OLED- und Perowskit-Solarzellen
- Vorbereitung von Biochips und Polymerfilmen
- Antireflexbeschichtung für Optiken
- Nanomaterialabscheidung (Graphen, Quantenpunkte)
- F&E-Multi-Condition-Screening (24 verschiedene Parameter gleichzeitig)
Anpassungsoptionen
Wir bietenvollständige Anpassung:
- Anzahl der Stationen: 8 / 12 / 16 / 24 / 32 Stationen
- Form und Größe des Substrats: runde Wafer, quadratische Platten, unregelmäßige Substrate
- Abgabesystem: Einzelnadel, Mehrfachdüse, Spray oder Tintenstrahl
- Umweltkontrolle: Luftfeuchtigkeit, Temperatur, Partikelfiltration
- Automatisierungsgrad: manuelle Beladung, halbautomatisch, vollständige Inline-Integration
- Software: individuelle Rezeptstruktur, Barcode-Scanning, Datenexport in MES
Hauptmerkmale
- Individuelle Stationssteuerung mit unabhängigen Drehmotoren
- Touchscreen mit Rezeptbibliothek (bis zu 999 Rezepte)
- Echtzeit-Geschwindigkeits- und Zeitüberwachung pro Station
- Anti-Tropf-Vakuumerkennung zum Halten des Substrats
- Automatische Synchronisierung des Lösungsmittelspenders
- Vibrationsarmes und akustisches Gehäuse
- Not-Aus- und Verriegelungsschutz
- AnpassbarAbgas- und Abfallsammeltank
Support und Dienstleistungen
- Installation und Schulung vor Ort
- 18 Monate Standardgarantie (verlängerbar)
- Option für Remote-Debugging und IoT-Support
- Jährlicher Kalibrierungs- und vorbeugender Wartungsplan
- Ersatzteilversorgung für ≥10 Jahre
- Unterstützung bei der Entwicklung kundenspezifischer Software
Verpackung und Versand
- Verpackung: Antistatisch vakuumversiegelt + Sperrholz-Exportkoffer (stoßfest, feuchtigkeitsbeständig)
- Versandart: FOB/CIF auf dem See- und Luftweg (Express optional für Tischgeräte)
- Vorlaufzeit: 30–45 Werktage nach Auftragsbestätigung (Anpassung fügt 15 Tage hinzu)
- Dokumente enthalten: Benutzerhandbuch, Kalibrierzertifikat, CE-Erklärung
Häufig gestellte Fragen
F1: Können die 24 Stationen gleichzeitig verschiedene Schleuderprogramme ausführen?
A: Ja. Jede Station unterstützt aanpassbares unabhängiges Rezept(Geschwindigkeit, Zeit, Beschleunigung).
F2: Welche Substratgrößen kann ich anpassen?
A: Von 5×5-mm-Chips bis hin zu 300×300-mm-Panels oder 12-Zoll-Wafern. Bitte geben Sie Ihre Substratzeichnung an.
F3: Ist diese Maschine reinraumkompatibel?
A: Ja. Klasse 100 (ISO 5) kompatibel mit optionalem HEPA/ULPA-Filtermodul.
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