Hochpräzisions-Ein-Station-Spin-Coater für Forschungs- und Entwicklungslabore
Das hier.Anpassungsfähiger Single-Station Spin Coateris designed for uniform thin-film deposition of photoresist, polyimide, sol-gel, nanoparticles, and other functional coatings onto substrates. Erhältlich inHigh-Precision R&D,integrierte Heizplatte, undGroßformatKonfigurationen.
Das System istvollständig anpassbarSpin Coating verwendet eine Zentrifugalkraft, um eine Flüssigkeitsbeschichtung gleichmäßig über ein Substrat zu verteilen.Achieving Film Dicken vonmit einer Breite von mehreren Mikrometernmit außergewöhnlicher Einheitlichkeit.
Zu den wichtigsten Vorteilen gehörenaußergewöhnliche Geschwindigkeitsstabilität (< ± 1% Schwankung),Niedrigschwingungsbetrieb, und aChemie-resistente ProzessschüsselDie kompakte Benchtop-Konstruktion eignet sich hervorragend für Forschungslabore, Pilotlinien und Produktionsumgebungen mit kleinen Chargen.Die modulare Architektur unterstützt zukünftige Upgrades, einschließlich mehrfacher Spüldüsen, Stickstoffreinigung und Heizmodule vor Ort.
Technische Spezifikation
| Parameter |
High-Precision R&D Modell |
Integriertes Hotplate-Modell |
Großformat / Produktionsmodell |
| Substratgröße (anpassbar) |
Bis zu 200 mm Durchmesser/Quadrat |
bis zu 200 mm Durchmesser. |
Bis zu 450 mm / 18 " |
| Spin-Geschwindigkeitsbereich (anpassbar) |
100 bis 12.000 U/min |
100 bis 12.000 U/min |
Bis zu 15.000 Dreh/min. |
| Geschwindigkeitsgenauigkeit |
±1 U/min oder ±0,5% |
± 0,5% |
± 0,1% (Servomotor) |
| Beschleunigungsbereich (anpassbar) |
100 - 10.000 Umdrehungen/s |
Programmierbar |
1 - 50 000 U/s |
| Programmschritte (anpassbar) |
10 Programme, jeweils 20 Schritte |
Bis zu 100 Schritte pro Programm |
Unbegrenzt anpassbar |
| Chuck Typ (anpassbar) |
Vakuum (Aluminium/PTFE/Keramik) |
Vakuum (Aluminium) |
Vakuum- / mechanische Klemme |
| Bowl-Material (anpassen) |
PP / PTFE / Edelstahl 316L |
PP / PTFE |
mit einer Breite von nicht mehr als 20 mm |
| Temperatur der Heißplatte (optional) |
N/A |
Umgebung - 300°C |
Zusätzlich |
| Steuerschnittstelle |
4.3" LCD / 7" HMI |
7" HMI-Touchscreen |
PLC + HMI / PC-basiert |
| Datenexport |
USB (optional) |
USB / Ethernet |
USB / Ethernet / Modbus |
| Stromversorgung (anpassbar) |
110/220V, 50/60Hz |
110/220V |
220/380 V, 50/60 Hz. |
| Typische Anwendung |
Halbleiter, OLED, Perovskit. |
Fotoresistenz + Backen |
Industrieplatten, große Wafer |
Anwendungen
- Halbleiter und MEMS: Lichtbeständige Beschichtung, Elektronenstrahllithographie, Spin-on-Glas (SOG)
- Optoelektronik: OLED, Quantenpunkte dünne Filme, antireflexive Beschichtungen
- Materialwissenschaft: Sol-Gel-Deposition, Nanopartikelfolien, Polymerbeschichtungen
- Biotechnologie: Herstellung von Biosensoren, Mikrofluidische Gerätebeschichtung
- Erneuerbare Energien: Perovskit-Solarzellen, Dünnschicht-Photovoltaik
- Optische Industrie: Linsen mit harter Beschichtung (mit UV-Aufhärtung)
Wesentliche Merkmale
- High-Precision-Spin-KontrolleHigh-torque brushless motor mit ±0.5% Geschwindigkeitsgenauigkeit und programmierbarer Beschleunigung sorgt für eine wiederholbare, einheitliche Beschichtung
- R&D-fokussiertes Design: Multi-step recipe programming and data logging capabilities for systematische Prozessentwicklung
- Versatile Einrichtung: Anpassungsfähige Schläger und Befestigungen halten komplexe Geometrien oder zerbrechliche Substrate fest
- Chemikalienbeständige Bauwerke: PTFE, PP, oder Stainless Steel Bowls für aggressive Lösungsmittel
- Benutzerfreundliche Schnittstelle: Intuitive Touchscreen HMI mit Rezept-Storage für schnelle Erinnerung an optimierte Parameter
- Kompakter Fußabdruck: Benchtop design saves valuable lab or production floor space: Benchtop-Design spart wertvolle Labor- oder Produktionsfläche
- SicherheitseinsperrungenAutomatischer Stopp, wenn der Deckel während der Operation geöffnet wird
- Rückverfolgbarkeit der DatenRezept-Speicher, Echtzeitüberwachung, USB/Ethernet-Export
Anpassungsmöglichkeiten
Dieser Single-Station Spin Coater istsehr anpassungsfähigUm Ihren spezifischen Anforderungen an die Anwendung gerecht zu werden:
- Drehgeschwindigkeitsbereich: von 50 Rpm bis zu 15.000 Rpmangepasst werden
- Chuckentwurf und -größe: auf Verarbeitung spezialisierte Vakuumschubs für runde (bis zu 450 mm), quadratische, rechteckige oder unregelmäßige Substrate -vollständig anpassbar
- Material der Schüssel- Das ist nicht die Art, wie ich das sehe.angepasst werdenFür Lösungsmittelresistenz
- Einrichtungstyp: Vakuumschläger, mechanische Klemmen oder 3D-gedruckte Halterungen -angepasst werden
- AbgabeverfahrenManuelle Spritze / automatisierte Spritzepumpe / Solenoidventil / Multi-Nozzle-Arrayangepasst werden
- Integration der Heizung: Optionale In-situ-IR-Heizungen oder Heizplatten bis 300°C -angepasst werden
- Umweltkontrolle: Inertgasreinigung (N2), Luftfeuchtigkeitskontrolle, Integration der Handschuhbox -angepasst werden
- Software: Rezeptverwaltung, Datenerfassung, USB/Ethernet-Export -angepasst werden
- Automatisierungsgrad: Voll manuell bis halbautomatisch mit automatischer Abgabe und Zyklussteuerung -angepasst werden
- Sicherheit: Verriegelte Gehäuse, Notrufsperre, Verschüttungssperreangepasst werden
Unterstützung und Dienstleistungen
- Kostenlose Prozessberatung und Materialprüfung - senden Sie uns Ihre Substrate
- Custom fixture design und engineering services
- Installation und Inbetriebnahme vor Ort (angepasst werdenUnterstützungspakete
- Einschließlich Ausbildungsprogramm für Betreiber
- Fernproblembehandlung innerhalb von 24 Stunden per Videoanruf
- 18 Monate Garantie auf Motor und Controller, 12 Monate auf Zubehör.
- Ersatzteilverfügbarkeit aus regionalen Lagerhallen (USA/EU/Asien)
- lebenslange technische Unterstützung per Telefon, E-Mail oder Chat
Verpackung und Versand
- Verpackung: Anti-statischer Schaum + verstärktes Holzgehäuse (mit Trocknungsmittel für feuchtigkeitsempfindliche Bauteile)
- Standardmodell-Lead-Time15-25 Tage nach Auftragsbestätigung
- Custom Configuration Führungszeit30-45 Tage (lnger für Custom Chucks oder Bowls)
- Schifffahrt: FOB Shanghai / CIF per See, Luft oder Schiene
- Anpassbar: Exportkisten, kundenspezifische Kennzeichnung, Dokumentation des Bestimmungshafens
Häufig gestellte Fragen
F1: Was ist die maximale Substratgröße, die dieser Spin Coater verarbeiten kann?
A: Standardmodelle für Forschung und Entwicklung können bis zu 150-200 mm (6-8") Durchmesser haben.angepasst werdenSchlägt bis zumit einer Breite von nicht mehr als 50 mmQuadratische Substrate bis 150×150 mm werden ebenfalls unterstützt.
F2: Kann ich diesen Spin-Coater für nicht runde Substrate verwenden?
A: Ja, wir bietenangepasst werdenVakuumschläger und mechanische Befestigungen für quadratische, rechteckige und unregelmäßig geformte Substrate.Bitte geben Sie die Abmessungen Ihres Substrats für die Anpassung der Leuchten an.
F3: Wie ist die typische Einheitlichkeit der Beschichtungsdicke?
A: Bei einer ordnungsgemäßen Optimierung des Prozesses kann die Dicke einheitlich sein< ± 1%Wir bieten kostenlose Labortests an, um Ihre spezifische Anwendung zu bestätigen.
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